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歐姆龍MEMS紅外溫度傳感器的介紹

2017-09-25

歐姆龍代理商鼎悅電子新品推薦,應(yīng)用晶圓級真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā),成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測的4X4, 1X8MM單元型非接觸式溫度傳感器

由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測靜止不動的人物,所以難以檢測人數(shù)及人物所處位置。鑒于這種情況,歐姆龍開發(fā)了能夠檢測靜止人物,具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測,用于人感傳感器的單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。

 

MEMS非接觸式傳感器靈敏與特征:

1、 數(shù)字輸出

2、 高靈敏及低噪音

3、 精度高

        

 

MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮埽⑼ㄟ^兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動勢測量溫度。但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會通過空氣散失,所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差,致使熱電動勢變小,無法提高靈敏度。

這次,世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中,使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大,從而可實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度。

 

MEMS非接觸式傳感器特長

         · 通過采用熱電堆的方式,可檢測熱電傳感器無法檢測的靜止人物,最適用于人類檢測和非接觸式測量的傳感器。

        · 通過采用256像素(16×16單元)的二維區(qū)域溫度檢測,提高人物所處位置的檢測精度。

        · 擁有90度的廣視野角度,可檢測廣范圍的區(qū)域溫度。例如,對于原需裝配4個(gè)45度視野角度傳感器的區(qū)域,僅需用1個(gè)傳感器即可檢測。

        · 因能實(shí)現(xiàn)4/(幀速率:每秒的畫面輸出次數(shù))的高速溫度輸出,所以可檢測以1.0/秒的速度移動的人物。

  結(jié)合先進(jìn)的MEMS熱電堆、定制ASIC設(shè)計(jì)的傳感器

非接觸式溫度傳感器的檢測原理

利用兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動勢導(dǎo)致的塞貝克效應(yīng)(Seebeck effect)。將n型多晶硅、p型多晶硅以及鋁為材料的熱電偶串接成熱電堆。通過在薄膜上形成一個(gè)金屬接點(diǎn)(溫接點(diǎn)),并在導(dǎo)熱性強(qiáng)的多晶硅上形成另一個(gè)金屬接點(diǎn)(冷接電),提高能源效率。通過采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中。



 非接觸式溫度傳感器的應(yīng)用::

  能源管理:檢測人體節(jié)能和舒適;

  電視/電腦:檢測人體屏幕儲蓄;

  微波爐:溫度控制烹飪食物;

  冰箱:迅速冷卻溫暖的食物保持新鮮的食物。

 

 

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